重布線層
重布線層(redistribution layer,RDL)是集成電路上額外的金屬層,可使其I/O焊盤在芯片的其他位置可用,可更好地連接焊盤,起着XY平面電氣延伸和互聯的作用。[1][2]
製造集成電路時,它通常具有一組通過打線接合到封裝引腳的I/O焊盤。重新分布層是芯片上的額外布線層,可以從芯片上的不同位置進行鍵合,從而使芯片到芯片的鍵合更加簡單。使用RDL的另一個例子是在芯片周圍分散接觸點,以便可以應用焊球,並且可以分散安裝的熱應力。
在先進封裝的FOWLP中,RDL最為關鍵,其將IO Pad進行扇入Fan-In或者扇出Fan-Out,形成不同類型的晶圓級封裝。
在2.5D IC集成中,RDL將網絡互聯並分布到不同的位置,連接硅基板上方芯片的Bump和基板下方的Bump。
在3D IC集成中,對於上下堆疊是同一種芯片,通常TSV就可以直接完成電氣互聯功能了,而堆疊上下如果是不同類型芯片,則需要通過RDL重布線層對準上下層芯片的IO,完成電氣互聯。