1873年,德國科學家E.Abbe揭示了傳統光學顯微鏡由於光的衍射效應和有限孔徑分辨率存在因此產生的分辨率的極限原理。由於可見光的波動性,其可以發生衍射,因此光束不能無限聚焦。根據此,分辨率極限數值大約為λ⁄2n,其中λ是光波波長,n是樣品介質的折射率。