模板:微技術 - 維基百科，自由的百科全書

基本結構

應用

傳感器	微測輻射熱計（英語：Microbolometer）

執行器	梳狀致動刮板式微致動器（英語：Scratch drive actuator）微機電系統電熱致動器（英語：MEMS electrothermal actuator）

開關	Digital micromirror device（英語：Digital micromirror device）光學開關

其他	Millipede存儲射頻微機電系統（英語：Radio-frequency microelectromechanical system）微機電系統微光子學（英語：Microphotonics）生物微機電系統（英語：Bio-MEMS）微功率（英語：Micropower）微流控

製程

通用	表面微加工（英語：Surface micromachining）體微加工（英語：Bulk micromachining）薄膜沉積刻蝕打線接合

專用	LOCOS 淺槽隔離（英語：Shallow trench isolation） LIGA Lift-off 光刻技術 SOI 智能剝離（英語：Smart cut）