增透膜(英語:Anti-reflective coating,AR)是一種表面光學鍍層,它通過減少的反射以增加透過率。在複雜的光學系統中,它可以通過減少系統中的散射光來提高對比度,例如望遠鏡,這對天文學十分重要。其他方面,增透膜能減少暗處雙筒望遠鏡的閃光。

沒有鍍膜的眼鏡鏡片(上方)比鍍上增透模的眼鏡鏡片反射更多光波。特別注意到鍍膜的眼鏡鏡片的反射帶有些許顏色。

很多塗層都包括了折射率不同的透明薄膜結構。薄膜的厚度決定其作用的反射光波長。當光線在增透膜上產生二次反射時,會和原反射光發生干涉,從而減弱反射光。而根據能量守恆,光的能量不變。因此當反射光減少時,透射光便增多。這就是增透膜的原理。一般,選擇增透膜時需確定波長,如紅外線,可見光以及紫外線。

製造工藝

塗層材料

氟化鈣 氟化鎂 氧化鈦 硫化鉛 硒化鉛

乙烯基倍半矽氧烷雜化膜 金剛石薄膜

技術

真空鍍膜 化學氣相沉積 溶膠—凝膠法

應用

(視力)校正鏡片

配鏡師會在眼鏡上鍍上增透膜,以減少反射,讓配戴者配戴後可以看的較清楚,其產生的炫光也會比較少,這對於夜間開車及在電腦螢幕前工作的人而言格外重要。炫光較少讓配戴者比較不會疲倦。增透膜讓讓較多的光可以通過眼鏡,增加視覺對比英語contrast (vision)也提昇視力。

防反射的鏡片和偏振片不同,偏振片會吸收太陽反射到物體表面(例如沙、水面及路面)的光。「防反射」一詞是指避免鏡片本身造成的光反射,不是避免由其他物體表面反射的太陽光。

許多增透膜還會有其他排斥脂肪的塗層,目的是為了方便清洗。防反射塗層特別適合用在高折射率的鏡片。高折射率玻璃的增透膜比較便宜,也比較簡單。

光刻

在微電子技術的光刻工藝中, 增透膜可以減少光斑的畸變。不同的增透膜適用不同的 光致抗蝕劑, 另外,也可以減少駐波,薄膜干涉以及鏡面反射[1][2]

類型

折射率匹配

最簡單的抗反射塗層形式是由瑞利男爵於 1886 年發現的。由於與環境發生化學反應,當時光學玻璃表面會隨著時間而生成髒污頁面存檔備份,存於網際網路檔案館)。 Rayleigh 測試了一些舊的、稍微髒污的玻璃片,驚訝地發現它們比新的、乾淨的玻璃片穿透更多的光。取代了空氣-玻璃界面,髒污層形成了空氣-髒污層界面與髒污層-玻璃界面。由於髒污層的折射率介於玻璃和空氣之間,因此這兩個界面中的反射量每一個都比空氣-玻璃界面更少。事實上,這兩個反射的總和小於僅是由空氣-玻璃組成的界面反射,這可以從菲涅耳方程計算出來。

一種方法是使用漸變折射率 (graded-index, GRIN) 抗反射塗層,即折射率幾乎連續變化的塗層。有了這些,就可以在寬頻譜和不同入射角範圍內減少反射。

單層膜

多層膜

吸收

蛾眼

飛蛾的眼睛有一個異常的特性:它們的表面覆蓋著一層天然奈米結構薄膜頁面存檔備份,存於網際網路檔案館),以消除反射。這使飛蛾不但能黑暗中能看得很清楚,並且也不會因為反射而暴露自己的位置給掠食者。該結構由六邊形凸點圖案組成,每個凸點約高 200 奈米,中心間隔為 300 奈米。這種抗反射塗層之所以有效,是因為凸點小於可見光波長,使得空氣-眼睛組織介質對可見光而言具有連續的折射率梯度頁面存檔備份,存於網際網路檔案館),進而有效地去除了空氣-透鏡界面反射。人類利用了此效應製造抗反射膜;這是一種仿生學頁面存檔備份,存於網際網路檔案館)的應用。例如,佳能公司利用蛾眼技術在其次波長結構塗層中顯著減少鏡頭光暈頁面存檔備份,存於網際網路檔案館)。

這種結構也用於光學元件,例如,由氧化鎢和氧化鐵組成的蛾眼結構可用作光電極,用於分解水以產生氫氣。該結構由數百微米大小的氧化鎢球體組成,上面鍍著數納米的氧化鐵層。

理論

反射

雷利膜

干擾層

可以認為使用中間層形成抗反射塗層類似於電信號的阻抗匹配技術。 (在光纖研究中使用了類似的方法,有時使用與折射率匹配的油來暫時消除全內反射,以便光可以耦合進或耦合出光纖。)理論上可以通過擴展來進一步減少反射該過程對幾層材料,逐漸將每一層的折射率混合在空氣的折射率和基材的折射率之間。

然而,實用的抗反射塗層依賴於中間層,不僅因為它直接降低反射係數,而且還利用了薄層的干擾效應。假設精確控制層的厚度,使其恰好是層中光波長的四分之一(λ/4 = λ0/(4n1),其中 λ0 是真空波長)。然後將該層稱為四分之一波塗層。對於這種類型的塗層,當從第二個界面反射時,垂直入射光束 I 將比從第一個表面反射的光束傳播其自身波長的一半,從而導致相消干涉。對於較厚的塗層(3λ/4、5λ/4 等)也是如此,但是在這種情況下,由於反射率對波長和入射角的依賴性更強,因此抗反射性能更差。

如果兩個光束 R1 和 R2 的強度完全相等,它們將相消干涉並相互抵消,因為它們完全不同相。因此,沒有來自表面的反射,並且光束的所有能量都必須在透射光線 T 中。在計算堆疊層的反射時,可以使用傳遞矩陣方法。

原理

許多塗層由透明的薄膜結構組成,具有交替的折射率不同的交替層。 選擇層厚度以在從界面反射的光束中產生相消干涉(destructive interference),並在相應的透射光束中產生相長干涉(constructive interference)。

歷史

參見

參考

  1. ^ Understanding bottom antireflective coatings頁面存檔備份,存於網際網路檔案館
  2. ^ Yet, Siew Ing. Investigation of UFO defect on DUV CAR and BARC process 5375. SPIE: 940–948. 2004 [2012-06-25]. doi:10.1117/12.535034. (原始內容存檔於2017-06-02). 

外部連結